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                  不銹鋼壓力表

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                  帶您深度探討關于電接點壓力表全部基礎內容

                  作者:發表時間:2019-06-10


                  介紹
                        電接點壓力表通常是獨立的傳感器,通常需要±15伏電源,并提供與壓力成正比的0-10伏壓力信號。布萊迪電接點壓力表測量真實壓力(定義為力/單位面積)。這意味著測量對所測量的氣體類型不敏感。其他儀表,如皮拉尼,熱電偶和離子計,不能測量真實的壓力,因此它們的讀數將是氣體類型敏感的。本文深度度探討關于電接點壓力表全部基礎內容。

                   

                  傳感器膠囊
                        傳感器艙包含隔膜和金屬陶瓷電極結構。隔膜的參考側(背面)被抽空到非常高的真空,遠低于要測量的壓力。通過內部化學吸氣泵在參考側的高真空在壓力表的整個壽命期間保持不變。傳感器采用Inconel全焊接結構,堅固耐用,與工藝環境兼容。
                        通過測量金屬膜片和相鄰的固定雙電極之間的電容變化來確定壓力。徑向張緊的隔膜具有極低的滯后性,出色的可重復性,極高的分辨率(滿量程的1x10 -5),快速響應以及測量極低壓力的能力。


                        如果對壓力表施加高過壓,則隔膜將在電極基板上觸底,防止對傳感器造成永久性損壞。大多數電接點壓力表的過壓額定值為45 psia或滿量程范圍的2倍,以較大者為準。壓力大于允許的額定值可能導致內部機械故障或零點的顯著變化。
                  電子產品


                        電子設備位于傳感器附近。信號調理電路非常穩定,可產生高電平輸出。電子元件由精密正弦波振蕩器組成,可驅動橋接電路。傳感器電極電容的不平衡產生由緩沖器放大的差分輸出。輸出的偏移,增益和線性度由零點,量程和線性電位計調整。


                        提供調節罐用于零,跨度和線性??缍群途€性電位器被覆蓋,并且只有在執行校準時才能由經過培訓的操作員進行調整,其中可以將傳感器與參考標準進行比較。
                  歸零


                        布萊迪電接點壓力表是精密機電設備。像所有這些嚴格公差的設備一樣,溫度和其他環境因素會對性能產生影響。在電接點壓力表的情況下,零壓力下的電輸出會因運輸和處理而發生變化。因此,所有電接點壓力表在安裝時都需要調零,應該定期監控零點。在歸零之前,確保您的布萊迪電接點壓力表已經預熱了所需的時間。


                        注意:時間是最壞的情況,可能因型號而異
                        歸零僅需要將足夠低的壓力施加到入口(Px)側,然后相應地調節電子器件以獲得零伏輸出。當入口壓力低于儀器的分辨率時,就會達到這個條件。對于每個壓力表范圍,該歸零的最大壓力將是不同的。當然,任何低于最大值的壓力都是可以接受的。由于重力影響隔膜的位置,因此必須在使用布萊迪電接點壓力表的相同方向上進行調零??缍群途€性度不是位置敏感的。
                  零點,量程和線性調整
                        當電接點壓力表的電子元件正確調整時,壓力輸入和電壓輸出之間會有直接的對應關系(見下圖)。
                        如果零點被錯誤調整,將在儀器的整個范圍內產生偏移。
                        如果跨度未調整,則整體范圍將大于或小于應有的范圍。
                        如果線性度未調整,則端點(零和滿量程)可能是正確的,但中間讀數可能是錯誤的。


                        跨度和線性度在工廠進行調整,并且長期穩定。除非有合適的校準設備和經過培訓的操作員,否則不應觸及這些調整。應在安裝時進行調零,并應定期檢查。頻率主要取決于環境條件,例如環境溫度的變化或儀器的物理方向。
                  縮放
                        典型的電接點壓力表的信號調理電子設備將提供從0到10伏的輸出,輸出電壓和壓力之間存在線性關系。如下所示,電接點壓力表由其滿量程壓力描述,即對應于10伏的壓力。


                        由此可見,在顯著低于滿量程壓力的壓力下,輸出電壓將降至非常低的值。因此,存在分辨率限制,通常為100,000分之一。因此,1000 Torr滿量程壓力表的分辨率為0.01 Torr,對應于0.1 mV的輸出。


                        在電接點壓力表的滿量程額定值和分辨率之間,我們定義了兩個壓力范圍,壓力表將提供有用(準確和可重復)的輸出:
                  讀數范圍通常為3.5至40年(取決于型號),其中壓力表用于測量(見圖表)
                        當壓力表用于控制系統中最小50 mV的壓力控制系統時,控制范圍通常為2。5年(取決于型號)。這個較窄的范圍有助于確保免受系統噪音的影響。
                  準確度術語
                        電接點壓力表技術表示精度占讀數的百分比,而不是滿量程(與其他制造商的一些低性能設備的情況一樣)。例如,622A型儀器的指定精度為讀數的0.25%。對于100 Torr滿量程壓力表,這意味著誤差可能在100 Torr時高達0.25 Torr,在10 Torr時低至0.025 Torr等。換句話說,誤差的絕對值會在測量范圍內下降。因此,讀數精度的百分比可確保您的測量精度達到滿量程的10%,而滿量程的100%。
                        對于具有0.25%滿量程精度的競爭100 Torr儀器,在任何讀數壓力下誤差將高達0.25 Torr。在這種情況下,測量范圍低端的誤差將不確定性增加為讀數的百分比。讀數與滿量程的百分比誤差如下圖所示。綠線代表讀數的百分比不準確度,滿量程儀器百分比的額外誤差以粉紅色表示。定義為讀數百分比的精度可在壓力范圍的較低范圍內為您提供更準確的輸出信號,而不是滿量程設備的百分比。


                  溫度調節和高溫Baratrons
                        環境溫度的變化可能導致零點的變化,這在儀器范圍的下端最為明顯。通過使用溫度調節的電接點壓力表可以最小化這種影響。通過在換能器內加入一個良好調節的烘箱(通常在45°C),可以實現穩定性的顯著提高。


                        可以使用更高溫度的布萊迪電接點壓力表(100,125,150和200℃),同時還希望最小化壓力表中可冷凝副產物的積聚。這些副產物是通過一些蝕刻和CVD工藝生產的。積聚在隔膜上的可冷凝物的影響是連續移動的零點。最終,會積累足夠的材料,并且不再可能將儀器歸零。
                  安裝
                  做:
                        1、與系統進行適當的真空連接。如果使用VCR接頭,請使用新墊片,用手擰緊,然后使用扳手按照制造商的建議擰緊。不要過度緊固。
                        2、留出足夠的預熱時間。
                  別:
                        1、扭轉單元(扭曲可能會導致內部損壞,從而導致性能問題)。
                  砰或放下裝置。
                        2、對量程或線性罐進行任何調整,因為這將改變校準。
                        3、以校準方向以外的任何方向安裝低滿量程單元(0.1 Torr及以下)。
                  歸零程序準備
                        留出足夠的預熱時間,注意對非溫度調節,加熱和低范圍傳感器的不同要求。如果使用分支連接器,請在預熱之前安裝連接器。確保壓力表處于真空狀態,并且在實際進行零點調整時壓力等于或低于最大調零壓力(下圖)。
                  適當的歸零壓力?
                        0.1 Torr <1 x 10 -6 Torr
                        1.0 Torr <1 x 10 -5 Torr
                        10.0 Torr <1 x 10 -4 Torr
                        100.0 Torr <1 x 10 -3 Torr
                        1000.0 Torr <1 x 10 -2 Torr
                        布萊迪電接點壓力表可以使用電源/顯示單元,數字電壓表和分支連接器或來自過程工具的控制器進行歸零。記錄零數據以捕獲每個單元的長期性能是個好主意。
                  將電接點壓力表連接到電源/顯示單元進行調零


                        布萊迪電接點壓力表可以使用顯示單元上的零點調整罐(首選)或使用壓力表上的零點來歸零。如果在壓力表上使用零點,請將顯示屏上的零點設置到中間位置。用小螺絲刀調整零點,直到顯示屏顯示0.000伏。


                        電接點壓力表有一個粗調零開關,位于儀器的側面。如果調零范圍不足,則將電位器轉到中間位置并將粗調開關調節到產生最接近零電壓的輸出信號的位置。然后調整設備頂部的零點,直到電壓正好為零伏。
                  使用分線連接器歸零
                        使用壓力表上的零點,按照與上述相同的步驟進行操作。信號電壓將通過數字電壓表測量,該數字電壓表連接到分支連接器引腳2和12,而不是顯示單元。
                  從Process Tool的Controller中歸零
                        該過程基本上與從電源/顯示單元歸零相同。但是,大多數工具的控制器都不能識別負電壓。要確保零點沒有負偏移,請將零點調整為約2 mV正值。定期檢查以確保零點設置保持略微正值。有關其他安裝細節,請參閱產品手冊。
                  一般故障排除指南
                  電接點壓力表的不正確操作通??梢宰匪莸揭韵乱蛩兀?br/>      1、預熱時間不足,如輸出壓力信號的漂移或零點調整所示。
                        2、由壓力測量的不可重復性表示的不正確的歸零。
                        3、如無輸出壓力信號或不穩定輸出所示,電源電壓不存在或有噪聲。
                        4、檢查您的安裝
                        5、您的電接點壓力表是否顯示出物理損壞跡象?
                        6、電接點壓力表是否已正確連接,物理和電氣?
                        7、你有足夠的預熱時間嗎?
                        8、如果預熱時間不夠長,電接點壓力表的內部組件將無法達到熱平衡,讀數將會漂移。
                        9、電接點壓力表是否已正確歸零?
                        10、如果不是,壓力指示將顯示偏移。
                        11、您是否意識到對跨度或線性調整的任何篡改?
                        12、如果是這樣,儀器的校準將關閉。致電您當地的MKS服務中心。
                  如果上述問題都不是問題,那么一系列簡單的電氣檢查通常會找到問題所在。
                  電氣故障排除


                  如圖所示安裝分支連接器。
                  使用至少4.5位數字的數字電壓表(DVM)。
                        1、將DVM設置為測量直流電壓,檢查電源連接(通常為±15伏)。
                        2、將DVM設置為測量交流電壓,確保正負電源連接上的交流噪聲小于50 mV RMS。
                        3、將DVM設置為測量直流電壓,檢查公共和接地引腳之間的接地回路或雜散電壓。任何一對之間都不應存在電壓。
                        4、將DVM設置為測量直流電壓時,輸出引腳應在0到10 VDC之間測量,與壓力成比例,并取決于壓力表的滿量程壓力等級。例如,1 Torr滿量程壓力表每100毫托壓力變化就會產生1伏的變化。
                        5、檢查以確保在設備銷上測量的壓力與控制器屏幕上顯示的壓力相對應。如果不是,則電壓(A / D)轉換存在問題。檢查A / D校準并確保使用正確的量程傳感器。
                        6、在最大零點調整壓力或低于最大零點調整壓力時,輸出信號引腳應為0.000伏。如果不是,請按照歸零程序中的說明調整零點。

                  本文由壓力變送器編輯,轉載請注明版權 產品推薦: 磁翻板液位計 金屬管浮子流量計 K型熱電偶 孔板流量計 渦街流量計 電磁流量計
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